Hermetische Keramik-Metall-Durchführungen

Ceramaseal® Durchführungen

Ceramaseal® Keramik-Metall-Durchführungen sind Bauteile, welche die Übertragung von elektrischer Energie, von Gasen oder von Flüssigkeiten von außerhalb eines hermetisch abgeschlossenen Behältnisses ins Innere desselben erlauben.

 

Ceramaseal® Durchführungen sind die Ideallösung für alle Anwendungen, bei denen eine hermetische (vakuumdichte) Abdichtung und gleichzeitig eine elektrische Isolierung erforderlich sind. Die Keramik-Metall-Durchführungen bieten aber nicht nur absolute Leckagefreiheit in Vakuum- und Ultra-Vakuum-Umgebungen, sondern sind gleichzeitig beständig gegen hohe Temperaturen, kryogene Temperaturen, Hochdruck und aggressive Chemikalien. Sie sind daher für den Einsatz unter solchen Bedingungen bestens geeignet.

Keramik-Metall-Durchführungen von Ceramaseal® werden durch die für sie zutreffenden Anforderungen hinsichtlich Installation und Einbau, Isolierung und Leitermaterial definiert. Das eigentliche Verbindungsverfahren kann dabei flexibel gewählt werden und unterliegt häufig speziellen Kundenvorgaben. CeramTec bietet hier eine umfassende Auswahl an Ceramaseal® Steckverbindungen und Durchführungen mit Schaltverbindung (Stecker und Multi-Pin-Stecker) an. Die angebotenen Ceramaseal® Durchführungstypen lassen sich unterscheiden in:

  • Durchführungen für niedrige Spannungen (bis 12 kV)
  • Wassergekühlte Durchführungen und RF-Durchführungen
  • Durchführungen für Hochspannung (20 bis 100 kV)

Ceramaseal® Hochfrequenz- und Ultrahochfrequenz-Durchführungen (RF-Durchführungen) wurden speziell für den effizienten Einsatz in verschiedenen Hochfrequenz-Anwendungen konzipiert, darunter Vakuumzerstäuben, Plasmaerzeugung und Induktionserwärmung.

Einsatzgebiete

  • Anlagen für die Verarbeitung von Halbleitern
  • Partikelbeschleuniger
  • Öfen
  • Analysegeräte
  • Beschichtungsanwendungen in Vakuumumgebungen
  • Satelliten-Instrumentierung
  • Röntgengeräte
Ceramaseal Keramik-Metall-Durchführungen
Materialien, Metallisierungen, Einbau und Installation

Bei Ceramaseal® Keramik-Metall-Durchführungen finden ausschließlich anorganische Materialien Verwendung. Die Isolatoren bestehen aus hochreiner, hochfester und verlustarmer Aluminiumoxid-Keramik. Zu den verwendeten Metallen gehören Kovar®, Edelstahl, Nickel, Kupfer, Nickel-Eisen-Legierungen, Kupfer-Nickel-Legierungen, Molybdän, Alumel® und Constantan®. Bei Korona-freien Konzepten werden elektrische Eigenschaften wie Überschlag, Korona-Durchschlag, Kriechströme, Durchschlagfestigkeit und Durchstoßbeständigkeit bereits im Rahmen der Standard-Konstruktionsprinzipien berücksichtigt.

Verwendete Hartlötmaterialien sind Silber, Kupfer sowie Silber-Kupfer- oder Gold-Kupfer-Legierungen. Die Metallisierungsverfahren beinhalten sowohl Refraktär-Metall- als auch Aktiv-Metall-Metallisierung – jeweils abhängig von der Größe, der Geometrie und den Leistungsanforderungen an die Durchführung. CeramTec setzt zur Kontrolle und Überwachung kritischer Prozesse modernste Technik und Verfahren ein, darunter 100%-Heliumleckagetests und Röntgenmessungen zur Kontrolle der Metallisierung.

Der Einbau und die Installation von Ceramaseal® Keramik-Metall-Durchführungen kann mit diesen Standard-Optionen erfolgen:

  • Hartlöten
  • Schweißen (Puls-TIG, TIG, Laser-, E-Strahlschweißen)
  • ISO KF-Flansch
  • ConFlat-Flansch
  • NPT-Fitting
  • 1" Sockel
Gut zu wissen:

Standardspezifikationen
Ceramaseal® Durchführungen

  • Spannungen bis 125 kV
  • Ströme bis zu 1000 A
  • Bis zu 41 Leiter
  • Temperaturbereich -269°C bis 450°C
  • Innendruck 1 x 10-10 Torr bis 207 bar (3000 psig)

Sonderanfertigungen und kundenspezifische Lösungen

  • Flanschkomponenten auch für Mehrfachdurchführungen
  • 940-Pin-Kopfkomponente
  • Korona-freie Konstruktion bis 180 kV DC
  • Ströme über 2500 A
  • Drücke bis 1380 bar (25000 psig)
Ceramaseal Materialien vor einem weißen Hintergrund
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Vakuumdichte Verbindungen

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