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Komplexe Kundenlösungen für Anwendungen der Halbleiterindustrie

Hochleistungskeramik für Halbleiter

Über 100 Jahre Erfahrung in der technischen Keramik, kombiniert mit umfassendem Prozess-Know-how und hervorragenden Produkteigenschaften machen uns zu einem der Lösungspartner, wenn es um keramische Komponenten für die Halbleiterindustrie geht - von Wafer-Polierplatten bis hin zu Elektrostatischen Chucks. Diese Keramiken werden extremen Fertigungs- und Handlingsbedingungen ausgesetzt, dabei müssen sie höchsten chemischen und physikalischen Belastungen widerstehen und dabei dauerhaft zuverlässig und präzise funktionieren.

Hochleistungskeramik für höchste Anforderungen

Unverzichtbar für das Halbleiter-Geschäft

Entdecken Sie die Vorteile unseres Portfolios an Hochleistungskeramiken und profitieren Sie von unserer Lösungskompetenz für eine Vielzahl von Bearbeitungs- und Fertigungsprozessen in der Halbleiterindustrie. Wir entwickeln unsere keramischen Komponenten und Teile nach Ihren individuellen Anwendungsanforderungen, damit Sie Ihre Prozesse flexibel und zuverlässig ausführen können.

Hochleistungskeramik für die Halbleiterindustrie
Hochleistungskeramik für die Halbleiterindustrie
Die optimale Lösung für Ihren Bedarf

Wir sehen uns nicht nur als reinen Hersteller von qualitativ hochwertigen Industriekeramikprodukten, sondern vielmehr als starken Entwicklungspartner, der gemeinsam mit Ihnen Ihre Anforderungen in individuelle Lösungen realisiert: mit langlebigen Produkten, in nahezu jeder gewünschten Geometrie, mit den geforderten Materialeigenschaften und optimaler Funktionalität. Dazu extrem widerstandsfähig gegen Hitze, wechselnde Temperaturen, mechanische Belastung und aggressive Chemikalien.

Ihr Erfolg ist unser Ziel

Nutzen Sie die Vorteile und vertrauen Sie auf die Keramik-Experten von CeramTec. Ob in der Wafer Bearbeitung, der Halbleiterfertigung oder dem Handling - unsere Komponenten aus hochreiner technischer Keramik (Al2O3 / AlN / SiC) sorgen für dauerhafte Leistung und Zuverlässigkeit. Dadurch profitieren Sie von höherer Effizienz und Zuverlässigkeit.

Von der ersten Idee bis zum fertigen Produkt

Maßgeschneiderte Lösungen

  • Grundsätzliche Eignung von Keramik

  • Auswahl der Materialien

  • Maßgeschneidertes Design & Konstruktion

  • Prototypen

  • Risikomanagement

  • Simulieren und Modellieren

  • Spezifikation

  • Qualitätssicherung

  • Serienproduktion

  • Änderungsmanagement

  • Audits

  • Produktschulung

  • Anwendungsschulung

  • Weiterentwicklung und Know-How-Transfer

Beratung
  • Grundsätzliche Eignung von Keramik

  • Auswahl der Materialien

  • Maßgeschneidertes Design & Konstruktion

Beratung
Entwicklung
  • Prototypen

  • Risikomanagement

  • Simulieren und Modellieren

  • Spezifikation

Entwicklung
Herstellung
  • Qualitätssicherung

  • Serienproduktion

  • Änderungsmanagement

  • Audits

Herstellung
Schulungen
  • Produktschulung

  • Anwendungsschulung

  • Weiterentwicklung und Know-How-Transfer

Schulungen

Download der Broschüre

Hochleistungskeramik für die Halbleiterindustrie
DE
ENDE
2 MB,  pdf
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Beispiele aus dem CeramTec Portfolio

Bauteile für die Halbleiterindustrie

ProduktEigenschaftenMaterial
Wafer-Polierplatte

• Hohe Steifigkeit

• Gute chemische Beständigkeit

• Kontrolle der Oberflächenform / Rauheit

Al2O3

RUBALIT

Wafer-Polierplatte

• Hohe Wärmeleitfähigkeit

• Geringe thermische Ausdehnung

• Hohe Steifigkeit

SiC

ROCAR

Elektrostatische Chucks

• Hoher Reinheitsgrad

• Hohe Plasmalebensdauer

• Hohe Spann-/und Entlastungsreaktion

SiC

ROCAR

Vakuum Chucks

• Hoher Reinheitsgrad

• Gute chemische Beständigkeit

• Vielfalt der Oberflächengestaltung

SiC

ROCAR

Endeffektoren / Waferhandling

• Hoher Reinheitsgrad

• Hochglanzpolierte Oberfläche

Al2O3
Endeffektoren / Waferhandling

• Hoher Reinheitsgrad

• Gute chemische Beständigkeit

• Hohe Steifigkeit

• Hochglanzpolierte Oberfläche

SiC

ROCAR

Chamber Rings / Sputtering Targets

• Hoher Reinheitsgrad

• Hohe Plasmalebensdauer

• Hoher Übertragungsfaktor

Al2O3 / SiC / AlN

RUBALIT

Metallisierte Produkte

• IC -Gehäuse

• Hochvakuum-Komponenten

• Hochspannungsterminal

Al2O3

RUBALIT

Stainless Steel Kovar

Weiterführende Links & Informationen

Wir sind für Sie da
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