Werkstoff | Biegefestigkeit | CTE | Wärmeleitfähigkeit | Durchschlagfestigkeit |
Al2O3 | 450 | 6 - 9 | 22 | 15 |
AlN | 450 | 4 - 6 | 170 | 15 |
ZTA | 625 | 7 - 9 | 21 | 20 |
Si3N4 | 700 | 2 - 4 | 80 | 25 |
Substrate aus Zirkonoxid verstärktem Aluminiumoxid (ZTA) begeistern durch ihre verbesserte Biegefestigkeit (625MPa), eine erhöhte Haltbarkeit (Thermocycling) sowie eine Durchschlagfestigkeit von DC: ≥ 20 kV/mm. Eingesetzt wird ZTA in industriellen Anwendungen, in xEV (Elektrofahrzeugen) sowie im Bereich der erneurbaren Energien.
ZTA bestehen aus Aluminiumoxid-Keramik, die mit Zirkonoxid-Partikeln verstärkt ist, um ihre mechanischen Eigenschaften wie Bruchfestigkeit, Biegefestigkeit und Härte zu verbessern - wodurch sie wiederum widerstandsfähiger gegen Risse und Abrieb werden. Sie weisen außerdem eine hohe Wärmeleitfähigkeit und elektrische Isoliereigenschaften auf und sind gegenüber den meisten Säuren und Basen chemisch inert. Aufgrund dieser Eigenschaften sind sie ideal für Hochtemperaturanwendungen wie in der Halbleiter- und Elektronikindustrie, wo sie für die Herstellung von Leiterplatten, Chips und Wafern verwendet werden.